2

The kinetics of low-temperature spatial atomic layer deposition of aluminum oxide

Année:
2013
Langue:
english
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PDF, 446 KB
english, 2013
7

Spatial Atomic Layer Deposition of Zinc Oxide Thin Films

Année:
2012
Langue:
english
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PDF, 3.39 MB
english, 2012
9

(Invited) Spatial Atomic Layer Deposition of Transparent Conductive Oxides

Année:
2013
Langue:
english
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PDF, 1018 KB
english, 2013
14

Novel approach to thin film polycrystalline silicon on glass

Année:
2009
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english
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english, 2009
18

Spatial Atmospheric Atomic Layer Deposition of Al x Zn 1– x O

Année:
2013
Langue:
english
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PDF, 1.02 MB
english, 2013
20

APCVD of ZnO:Al, insight and control by modeling

Année:
2013
Langue:
english
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english, 2013
41

Spatial Atmospheric ALD of Functional Layers for CIGS Solar Cells

Année:
2015
Langue:
english
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english, 2015